alicat氣體質(zhì)量流量控制器主要是采用溫度變化對(duì)應(yīng)于質(zhì)量流量的原理，可以對(duì)不同的氣體進(jìn)行流量量測(cè)及控制，所以氣體質(zhì)量流量控制器的應(yīng)用在工業(yè)中比較廣泛，氣體質(zhì)量流量控制器使用一段時(shí)間后需定期的對(duì)氣體質(zhì)量流量控制器拆開(kāi)進(jìn)行內(nèi)部的雜物整理一下，在檢查是否有受損的零件。
注意經(jīng)常性的校準(zhǔn)和檢測(cè)：氣體質(zhì)量流量控制器也同其它的分析檢測(cè)儀器一樣，都是用相對(duì)比較的方法進(jìn)行測(cè)定的。因此，隨時(shí)對(duì)氣體質(zhì)量流量控制器進(jìn)行校零，經(jīng)常性對(duì)儀器進(jìn)行校準(zhǔn)都是保證儀器測(cè)量準(zhǔn)確的不可少的工作。
對(duì)于多數(shù)流量測(cè)控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對(duì)于普通的流量計(jì)，壓力及溫度的波動(dòng)將導(dǎo)致較大的誤差；對(duì)于質(zhì)量流量計(jì)／質(zhì)量流量控制器，則一般可以忽略不計(jì)，質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量，這對(duì)很多工藝過(guò)程的流量控制、對(duì)于不同氣體的比例控制等特別有用。
alicat氣體質(zhì)量流量控制器有故障，可以檢查以下容易出現(xiàn)問(wèn)題的地方：
1、零點(diǎn)是否有漂移，首先需接通電源，質(zhì)量流量控制器信號(hào)為0的情況下，則需要用萬(wàn)網(wǎng)表測(cè)一下輸出信號(hào)值以及看一下電源控制器的反饋信號(hào)；
2、氣體是否純凈，如果盤路有污染，那么流量就肯定會(huì)收到影響，這個(gè)時(shí)候可以用高純N2多次清掃，如果還是不能解決則需要找專業(yè)維修點(diǎn)接受A／S；
3、質(zhì)量流量控制器前端壓力是否發(fā)到標(biāo)定壓力，如果質(zhì)量流量控制器的壓力不夠就會(huì)出現(xiàn)達(dá)不到標(biāo)定量程；
